Entwicklung eines Arrays aus Mikronadelelektroden für biomedizinische Anwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Röhler, S.; Held, J.; Nisch, W.; Stett, A. (NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Markwiesenstraße 55, 72770 Reutlingen, Deutschland)
Kern, D. P.; Burkhardt, C. (Institut für Angewandte Physik, Universität Tübingen, Auf der Morgenstelle 10, 72076 Tübingen)
Abstract:
Für die Aufnahme neuronaler Signale sowie für die Stimulation von Neuronen wurde ein Mikroelektrodenarray mit nadelförmigen Elektroden entwickelt. Die Nadeln werden aus dem Negativlack SU-8 durch anisotropes Trockenätzen hergestellt. Diese Nadeln werden metallisiert und einzeln elektrisch kontaktiert. Die substratintegrierten Leitbahnen und die Flanken der Nadeln werden elektrisch isoliert. Um eine möglichst geringe Impedanz der Elektrode zu erreichen, wird die Nadelspitze mit nanokolumnarem Titannitrid beschichtet. Die elektrischen Eigenschaften des Mikronadelelektrodenarrays werden bestimmt und der Schichtaufbau wird elektronenmikroskopisch untersucht.