Mikrosysteme auf Basis der Mehrkomponentenmikrospritzgießtechnologie
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schulze, Robert; Gessner, Thomas (TU Chemnitz, ZfM, Chemnitz, Deutschland)
Heinrich, Michael; Kroll, Lothar (TU Chemnitz, SLK, Chemnitz, Deutschland)
Wegener, Michael (Fraunhofer IAP, Potsdam, Deutschland)
Schüller, Martin; Gessner, Thomas (Fraunhofer ENAS, Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Die Silizium-Mikrotechnologie stellt eine sehr gut erforschte Fertigungstechnologie für Mikrosysteme dar, bedingt jedoch Einschränkungen in Materialauswahl und Designfreiheit bei zum Teil sehr hohen Herstellungskosten. Dieser Artikel stellt ein alternatives Verfahren zur Herstellung von Mikrosystemen auf Basis von Polymeren mit Mehrkomponenten (MK)-Mikrospritzgießtechnologie vor. Dabei wird das Potential dieser Technologie am Beispiel eines piezoelektrischen Beschleunigungssensors gezeigt. Dies beinhaltet eine Betrachtung der Technologie, eine Beschreibung der Materialauswahl und Präparation, zudem wird auf wichtige Punkte der Systemintegration eingegangen.