Hochintegrierte hermetische Durchführungen für implantierbare Neuroprothesen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Ordonez, Juan S.; Keller, Mark; Schuettler, Martin; Stieglitz, Thomas (Institut für Mikrosystemtechnik, Lehrstuhl für Biomedizinische Mikrotechnik, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 79110 Freiburg, Deutschland)
Günther, Thomas; Suaning, Gregg Jørgen (Australian Vision Prosthesis Group - Graduate School of Biomedical Eng., University of New South Wales, 2052 Sydney, Australien)
Wilde, Jürgen (Institut für Mikrosystemtechnik, Lehrstuhl für Aufbau- und Verbindungstechnik, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 79110 Freiburg, Deutschland)

Abstract:
Implantierbare elektronische Systeme benötigen für Langzeitanwendungen hermetisch dichte Gehäuse. Im Bereich von Herzschrittmachern und Neuroimplantaten sind solche Gehäuse bereits langjährig erfolgreich etabliert. Unter Verwendung von Hochtemperatur-Mehrlagenkeramik (HTCC) als Basismaterial in Kombination mit siebgedruckter Platin-(Pt) und Platin-Gold Paste (Pt/Au) als leitfähigem Material wurden mit einer modifizierten Siebdrucktechnik, hochintegrierte, hermetische, elektrische Durchführungen hergestellt. Die Haftung an der Metall-Keramik-Grenzfläche wurde ohne den Einsatz von zusätzlichen Füllmaterialien erzeugt. Durch die Kombination von flächigem Siebdruck und Laser-Strukturierung der getrockneten Siebdruckpaste konnten kleinere Abmessungen als durch gewöhnliche Siebdrucktechnologie erreicht werden. Das erzielte minimale Rastermaß der Durchführungen beträgt ca. 135 µm und erlaubt theoretisch eine Integrationsdichte von ca. 55 Durchführungen pro Quadratmillimeter. Es wurden Proben mit 232 Durchführungen und einer Dichte von ca. 10 Durchführungen pro Quadratmillimeter in einem Substrat von ca. 325 µm Dicke hergestellt. Die Proben wurden mit einem Metalldeckel dicht verschlossen und mit Helium gefüllt. Anschließend wurden die Proben auf Hermetizität getestet und elektrisch charakterisiert. Helium Leckraten von 1 · 10-11 bar · cm3/s konnten erreicht werden.