Photostrukturierbares Glas und Glaskeramiken als mechanisches Bauteil

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Link, Stefan; Häfner, M.; Dietrich, T. (mikroglas chemtech GmbH, 55129 Mainz, Deutschland)

Abstract:
Glas ist seit jeher in der chemischen Industrie das Material der Wahl, wenn es um erhöhte Chemikalienbeständigkeit oder Transparenz geht. Mit Hilfe photostrukturierbarer Gläser können alle Vorteile von Glas für die Fertigung von mikrostrukturierten Bauteilen genutzt werden. Photostrukturierbares Glas bietet hierbei interessante Möglichkeiten, angefangen von minimalen Lochdurchmessern ab 30 µm Durchmesser, bis hin zu Kanälen und Freiformen beliebiger Größen auf Substraten bis zu 12" Durchmesser. Als Anwendungsgebiete lassen sich Tintenstrahldruckköpfe nennen, die hochpräzise Durchgangslöcher besitzen, bis hin zu lichtdurchlässigen Vakuumaufnahmen mit mehreren Millionen gleichförmiger Löcher und minimalen Lochabständen, ebenso wie monolithische Glastiterplatten für die Biotechnologie.