Elektrochemische Abscheidung von Pd/Zn-Multilagen für das Fügen mit reaktiven Materialsystemen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Besser, J.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Gessner, T. (Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Gessner, T. (Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Die Abscheidung der reaktiven Multilagensysteme erfolgte sowohl mit der Zweibad- als auch mit der Einbadtechnik. Die Zweibadtechnik erfolgte aus einem Palladiumelektrolyten auf Basis von Palladium-tetraammonium-dichlorid und einem Zinksulfatelektrolyten. Die Ergebnisse zeigten, dass sich zwar Palladium auf Zink abscheiden lässt, ein Aufwachsen von Palladium auf den unedlen Zinkschichten jedoch nicht möglich ist. Der Legierungselektrolyt für die Einbadtechnik basierte auf den Stoffen der Einzelelektrolyte. Eine EDX-Analyse zeigte, dass Einzelschichten mit ca. 50 Gew.-% Palladium und 75 Gew.-% Zink, bei verschiedenen Potentialen abgeschieden werden können. Des Weiteren wurde mittels zyklischer Voltammetrie untersucht, inwieweit der Grundlegierungselektrolyt (2 g/l Pd, 10 g/l Zn) optimiert werden kann. Dieser sollte mit einem geringeren Palladium- und einem höherem Zinkanteil sowie unter Verwendung von 2 g/l Polyethylenglykol 400 und 129 g/l Zitronensäure betrieben werden.