Konstruktionskatalog für mechanische, elektrische und magnetische Eigenschaften von galvanisch abgeschiedenem Nickel

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Winterstein, Thomas; Staab, Matthias; Riemer, Darina; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)

Abstract:
In dieser Arbeit werden die mechanischen, elektrischen und magnetischen Schichteigenschaften galvanischer Nickelstrukturen aus einem zusatzfreien Nickelsulfamatbad bezüglich der Abhängigkeit von äußeren Prozessparametern (z. B. Stromdichte, Substrat, Badtemperatur) untersucht. Die Ergebnisse für mechanische Spannungen, E-Modul und Vickershärte werden der Literatur entnommen, der spezifische Widerstand und die relative Permeabilität werden in einer Versuchsreihe ermittelt. Die Stromdichte und die Badtemperatur haben dabei den größten Einfluss auf die Schichteigenschaften. Es werden Spannungen von 10 MPa bis 70 MPa, E-Moduli von 70 GPa bis 200 GPa, spezifische Widerstände von 0,065 Ohmmm2/m bis 0,078 Ohmmm2/m und relative Permeabilitäten von 21,8 bis 51,9 erreicht. Die Ergebnisse werden in einem Konstruktionskatalog zusammengefasst.