Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin (FG Mikromechanische Systeme, TU Ilmenau, Deutschland)

Abstract:
Es wird ein thermomechanischer Bimorph-Biegeaktor auf der Basis von Silicium und SU-8 vorgestellt, dessen Eigenschaften durch den Einsatz von in das Polymer integrierten Silicium-Nanostrukturen und einem im Schichtsystem vergrabenen Heizer optimiert werden. Abhängig von der Länge des Balkens kann damit eine Verkürzung der thermischen Zeitkonstante um den Faktor 1,8 erreicht werden: 0,39 ms mit Nanostrukturierung gegenüber 0,7 ms eines konventionellen Bimorphs mit einer Länge von 80 µm. Gleichzeitig wurde das Schichtdickenverhältnis so optimiert, dass die Balken eine maximale Deflektion erreichen.