Magnetisches Nanoaktorsystem
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Kohl, M. (Karlsruher Institut für Technologie KIT, Institut für Mikrostrukturtechnik, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Leiste, H. (Karlsruher Institut für Technologie KIT, Institut für Angewandte Materialien, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Abstract:
Im Folgenden werden Arbeiten zur Entwicklung mechanisch aktiver Nanobalken aus Titan mit einer integrierten ferromagnetischen Insel aus NiFe vorgestellt. Diese Nanobalken sind freibeweglich über einem Substrat integriert und lassen sich über ein externes Magnetfeld ansteuern. Der Herstellungsprozess besteht aus einer dreistufigen Elektronenstrahllithografie kombiniert mit reaktiven Ionenätzmethoden und Magnetronsputtern. Die notwendige Opferschichttechnologie zur Realisierung freistehender Strukturen basiert auf einem isotropen Trockenätzprozess.