Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Heilig, Markus; Schneider, Marc; Hamm, Veronika; Dinglreiter, Heinz; Worgull, Matthias (Karlsruher Institut für Technologie, Institut für Mikrostrukturtechnik, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)

Abstract:
Die Integration von Nanostrukturen in Mikrosysteme bietet eine Vielzahl von neuen Anwendungsmöglichkeiten in der Fluidik, Optik und im Bereich des Tissue Engineerings. Die Integration von Nanostrukturen kann zur Steuerung der Benetzbarkeit von Oberflächen in mikrofluidischen Kanälen genutzt werden. Diese Mikro-Nano-Integration stellt eine Herausforderung an die Fertigungsverfahren dar, insbesondere wenn nicht nur der Kanalboden, sondern auch die Seitenwände strukturiert werden sollen. Die am Institut für Mikrostrukturtechnik entwickelten Fertigungsverfahren, Heißprägen und Mikrothermoformen ermöglichen die Mikro-Nano-Integration in der Herstellung von Kunststoffbauteilen.