Strukturierte Herstellung und In-Situ Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrahtarrays in Mikrosystemen

Abstract:
Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrähten sind durch ihr extrem hohes Oberflächen/Volumenverhältnis für viele Anwendungen in der Mikrosystemtechnik interessant. Sie lassen sich z.B. als Kontakte in Mikroschaltern, in bioelektrischen Systemen zur Ankopplung an Nervenzellen, in mikrotechnischen Gasflusssensoren oder als Kontaktelemente in der Aufbau- und Verbindungstechnik einsetzen. Die Arbeit präsentiert eine Erweiterung des etablierten Ionenspurätzverfahrens, die es ermöglicht, Nanodrahtarrays beliebig zweidimensional zu strukturieren. Das vorgestellte Verfahren kann auch dazu genutzt werden, metallische Nanodrahtarrays direkt in einem Mikrosystem zu erzeugen. Dadurch können Mikrosysteme, die Nanodrahtarrays als Funktionselemente nutzen, ohne Montage und Fügeschritte kostengünstig in einem Batchprozess hergestellt werden.