Produktionsbegleitende Prozesskontrolle und Qualitätssicherung für die Sensorchip-Fertigung in mittleren und hohen Volumen: Konzepte und Beispiele

Abstract:
Bereits während der Prozess-Entwicklung für ein neues Chip-Produkt können die Weichen für eine stabile Serienproduktion gestellt werden. Aus Sicht der Sensitec GmbH muss hierfür nicht nur Wert auf die Prozessstabilität der einzelnen Fertigungsschritte gelegt, sondern auch eine Gesamtstrategie zur Überprüfung und Sicherung einer konstant hohen Fertigungsqualität verfolgt werden. Im Folgenden wird ein von der Sensitec GmbH entwickelter Quality-Gate-Ansatz vorgestellt sowie einige der verwendeten Methoden detailliert beschrieben.