Multisensormodul für die Mikroverfahrenstechnik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Frank, Thomas; Brokmann, Geert; Herbst, Steffen; Steinke, Arnd (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, 99099 Erfurt, Deutschland)
Abstract:
Der Artikel beschreibt eine miniaturisierte Messzelle für die Mikroreaktionstechnik zur Bestimmung der wichtigen Zustandsgrößen Temperatur, Druck, Volumenfluss und Konzentration. Die medienberührenden Werkstoffe sind weitgehend medienresistent. Die Sensoren sind in drei Ebenen angeordnet und bilden eine Kanalstruktur zum Durchleiten des zu messenden Mediums.