AlN basierte Sensoren auf Basis flexibler Substrate für energieautarke Sensorsysteme

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Grosser, Michaela; Braun, Timo; Seidel, Helmut; Feili, Dara (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbrücken, Deutschland)

Abstract:
Mit Hilfe des reaktiven Magnetronsputterns konnte ein piezoelektrischer Sensor mit einer c-Achsen orientierten AlN-Funktionsschicht auf Polyimid hergestellt werden. Dieser zeigt in Abhängigkeit der verwendeten AlN-Schicht ein gutes und reproduzierbares Sensorsignal. Mit Hilfe von XRD Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass das Sensorsignal nicht allein von der AlN-Schicht sondern auch von weiteren Prozessschritten abhängt.