Sensorentwicklung für energieautarke Mikrosysteme in Werkzeugmaschinen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Staufenbiel, Sebastian; Biehl, Saskia; Lampe, Christina (Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Bienroderweg 54 E, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Bertram, Oliver (Universität Hannover, Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)

Abstract:
Energieautarke Mikrosysteme gewinnen in der heutigen Zeit immer mehr an Bedeutung. Zur Nutzung dieser innovativen Technologie werden Sensoren mit einer geringen Leistungsaufnahme benötigt. Das Fraunhofer IST entwickelt Technologien zur Herstellung piezoresistiver Dünnschichtsensoren auf Basis von amorphem Kohlenwasserstoff mit geringer Leistungsaufnahme. Mit Hilfe der Mikrosystemtechnik werden die Sensorsysteme auf die mechanischen Bauteile appliziert, wo sie der Erfassung von zustands- und betriebsrelevanten Informationen dienen. Am Beispiel eines intelligenten Kugelgewindetriebs sollen die Betriebs- und Verschleißzustände während des dauerhaften Einsatzes erfasst werden. Hierzu dient die Auswertung der Druck- und Temperaturdaten im Kugelgewindetrieb