Untersuchungen zur Kombination von Heißfilmen und piezoresistiver Drucksensorik auf einem Chip
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Beutel, Tobias; Holle, Ansgar; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus (TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Am Institut für Mikrotechnik (IMT) wird zurzeit ein kombinierter Strömungssensor entwickelt, um neue Vermessungen von Strömungsprofilen zu ermöglichen. Dieser besteht aus einem Heißfilmsensor, der gemeinsam mit einem Silizium-Drucksensor auf einem Chip untergebracht ist. Der Druck wird mittels piezoresistiver Widerstände ermittelt, die sich auf einer Siliziummembran befinden und auf eine mögliche Temperaturdrift hin untersucht wurden. Die Wandschubspannung wird mithilfe eines Heißfilms ermittelt, dessen Wärmeverteilung auf dem Siliziumchip untersucht wurde. Diverse Möglichkeiten zur thermischen Isolierung des Heißfilms gegenüber den piezoresistiven Widerständen wurden getestet, darunter auch SU-8 gefüllte Grabenstrukturen.