Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger Sensormodulkonzepte

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dumstorff, Gerrit; Erbe, Torsten; Hoffmann, Martin (IMN MacroNano(R), Technische Universität Ilmenau, Deutschland)

Abstract:
Wir präsentieren technologische Konzepte, die den hybriden Aufbau dreiachsiger Sensormodule aus drei gleichartigen Sensorchips mit je einer sensitiven Achse ermöglichen. Die Machbarkeit wird am Beispiel dreier Magnetfeld-Sensorchips nachgewiesen, die durch Drahtbonden, Kleben oder galvanische Anreicherung auf einem gemeinsamen Substrat elektrisch kontaktiert werden. Die so aufgebauten Module werden vermessen und charakterisiert.