Kompaktes photoakustisches Gasmesssystem und Strategien zur weiteren Miniaturisierung
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Müller, Andreas; Eberhardt, André; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen (Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik, Heidenhofstr. 8, 79110 Freiburg, Deutschland)
Müller, Andreas; Wöllenstein, Jürgen (Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Koehler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines neuartigen, kompakten IR-optischen Gasmesssytems basierend auf photoakustischer Detektion beschrieben. Eine modulare Messzelle kombiniert mit einer optischen Langwegzelle wurde für den Einsatz zur Detektion von CO2 und Ethylen charakterisiert. Ein thermischer Strahler diente dabei als Infrarotquelle. Das System wurde sowohl durch Simulationen als auch Testmessungen mit CO2 und Ethylen charakterisiert. Die experimentellen Ergebnisse stimmten sehr gut mit den Simulationsergebnissen überein. Ziel war es, möglichst niedrigpreisige Komponenten einzusetzen sowie das gesamte System zu miniaturisieren, um eine spätere Integration in Sensornetzwerke zu ermöglichen. Die modulare Zelle erlaubt die Optimierung des optischen Wegs in der Messzelle und damit die schnelle Anpassung an verschiedene Zielgase. Weiterhin werden neue Strategien zur Miniaturisierung des Systems diskutiert.