Silicium-Membranpumpe in Oberflächen-Mikromechanik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Dannenberg, A.; Dorrer, C.; Reichenbach, R. (Robert Bosch GmbH, Robert-Bosch-Platz 1, 70839 Gerlingen, Deutschland)
Zengerle, R. (Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren eine in Oberflächen-Mikromechanik gefertigte, low-cost Silicium-Membranpumpe, die mit externen, wiederverwendbaren Piezo-Biegewandlern betrieben wird. Die Ventile der Pumpe können sowohl rein passiv betrieben als auch zusätzlich extern verriegelt werden. Im letzteren Fall verhindert die Pumpe auch im energielosen Zustand eine Flüssigkeitsabgabe, welche durch Druckdifferenzen im Bereich von mindestens ±50 kPa an Ein- oder Auslass hervorgerufen werden könnten. Ein maximaler Gegendruck von 75 kPa wird bei Betrieb mit Wasser erreicht. Maximale Förderraten von ca. 0,32 myL/min sind bei Pumpfrequenzen im Bereich von 0,2-0,5 Hz möglich.