Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration

Abstract:
In diesem Beitrag wird die Herstellung und Charakterisierung neuartiger, mikrotechnisch hergestellter und systemfähiger Filter unterschiedlicher Porengröße vom Nanometer- bis zum Mikrometerbereich vorgestellt. Das mikrotechnische Herstellungsverfahren der Filtermodule beruht auf der Strukturierung freitragender Membranen von Siliziumnitrid für die Mikrofiltration und auf der Umwandlung von kristallinem Silizium in sogenanntes poröses Silizium durch Anodisieren für die Nanofiltration. Die mechanische Stabilität von Filtermodulen ist eine wichtige Fragestellung für die geeignete Anwendung in der Filtration. Berstdrücke und Membranauslenkungen von perforierten und porösen Membranen wurden gemessen. Für die Charakterisierung der Durchlässigkeit wurde die dead-end oder cross-flow Filtrationstechnik verwendet. Die hergestellten Filter können in der Medizintechnik eingesetzt werden.