Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme

Abstract:
Bei der Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme müssen alle relevanten Bedingungen und Beschränkungen, welche durch die Herstellungsprozesse und den Einsatz des Systems in einer reellen Umgebung vorgegeben werden, berücksichtigt werden. Des Weiteren fügt jeder einzelne Herstellungsschritt seine eigenen Toleranzen zum Gesamtsystem hinzu. Um eine bestimmte Gesamtfunktion des Systems unter den gegebenen Herstellungsbedingungen sicherzustellen, muss der Systementwurf hinsichtlich der erwarteten Toleranzen robust sein. Diese Vorgehensweise der robusten, Toleranz-kompensierenden Entwurfsauslegung wird auf das Design eines Infrarot-Gassensors, eines mikrooptischen Abstandssensors und einer Linse mit variabel einstellbarer Brechkraft angewandt.