System-Simulation eines MEMS-basierten piezoelektrischen Energy-Harvester Moduls
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Hohlfeld, Dennis (Reutlingen University, Deutschland)
Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii (CADFEM GmbH, Grafing b. München, Deutschland)
Schaijk, Rob van (IMEC / Holst Centre, Eindhoven, Die Niederlande)
Abstract:
In dieser Arbeit stellen wir einen neuen Ansatz zum effizienten Entwurf von Mikrosystemen vor. Dieser basiert auf numerischen Methoden zur Ordnungsreduktion von MEMS-Modellen, die mehrere physikalische Domänen beinhalten. Die reduzierten MEMS-Modelle werden gemeinsam mit einer Schaltung gelöst. Als Anwendungsbeispiel dient uns ein MEMS-basiertes Modul mit piezoelektrischer Energiewandlung und passiven elektrischen Komponenten zur Energiespeicherung.