Steuerbares MEMS-Irisfilter für W-Band Hohlleiteranwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10/10/2011 - 10/12/2011 at Darmstadt, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Dassinger, F.; Kohlstedt, A.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Fritzsch, C.; Jakoby, R. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Mikrowellentechnik und Photonik, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird das Konzept eines steuerbaren MEMS-Irisfilters für W-Band Hohlleiteranwendungen vorgestellt. Die Steuerbarkeit wird durch zwei Blenden realisiert, die in den Hohlleiter bewegt werden können. Ihre Aktuierung erfolgt durch zwei elektrothermische Kniehebelaktoren. Beheizt werden die Aktoren von darunterliegenden galvanisch hergestellten Widerstandsheizern aus Nickel. Die Position der Blenden wird über eine thermische Lageregelung eingestellt. Ermöglicht wird dieses Konzept durch einen optimierten SU-8 Dickschichtprozess, mit welchem Strukturhöhen von bis zu 1,27 mm erreicht werden können. Die Mittenfrequenz des resultierenden Bandpassfilters kann bei einer maximalen Blendenverschiebung von 200 µm zwischen 94 GHz und 108 GHz eingestellt werden. Das Filterkonzept wird im Hinblick auf die Realisierung eines ersten Demonstrators optimiert. Der Fertigungsprozess sowie die Integration in einen Standard WR10-Hohlleiter wird vorgestellt.