Implementierung einer magnetischen Δ-Σ-Rückkopplung zur Regelung der Auslese eines AMR-Magnetfeldsensors
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kuderer, M.; Keller, M. (Fritz-Hüttinger-Professur für Mikroelektronik, Institut für Mikrosystemtechnik – IMTEK, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Nouna, R.; Mintenbeck, D.; Manoli, Y. (Fritz-Hüttinger-Professur für Mikroelektronik, Institut für Mikrosystemtechnik – IMTEK, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland )
Abstract:
In diesem Beitrag wird eine neuartige, rückgekoppelte Ausleseschaltung für magnetoresistive (MR) Sensoren präsentiert, die Messsignale digital zur Verfügung stellt. Der Systemaufbau sowie die einzelnen Systemkomponenten werden beschrieben. Des Weiteren wird der Aufbau, die Auslegung sowie die Fertigung einer Spule beschrieben, welche das für die Rückkopplung benötigte Magnetfeld am Sensor generiert. Zur Evaluierung des Konzeptes wurde ein Demonstrator implementiert, welcher ein paralleles Auslesen von zwei Sensorsignalen, wie zum Beispiel eines Sinus- und Cosinus-Signals in hochauflösenden Längen- und Winkel-Messungen, ermöglicht. Messungen belegen eine Auflösung von 8.5 Bit in einem Signalband von 10 kHz sowie eine hohe Linearität der Signalumsetzung.