Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Winkin, N.; Mokwa, W. (RWTH Aachen University, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik 1, Sommerfeldstraße 24, 52074 Aachen, Deutschland)
Gierth, U.; Michaelis, A.; Rabbow, T. (Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, Elektrochemie, Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Deutschland)
Abstract:
Mikroelektroden und Mikroelektroden-Arrays (MEAs) sind unerlässlich in einer Vielzahl von medizinischen Anwendungen wie zum Beispiel dem Tiefenhirnstimulator, dem Cochlea- oder Retina-Implantat. Dort werden sie zur Ableitung von Aktionspotentialen oder zur Stimulation von Neuronen eingesetzt. Um ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis zu gewährleiten, sollte der Kontakt zwischen Elektrode und Gewebe möglichst eng sein. Dies erreicht man durch ein flexibles Mikroelektroden-Array, das großflächig eine hohe Elektrodenanzahl aufweist. In dieser Arbeit wurde ein flexibles Mikroelektroden-Array mit einem integrierten flexiblen Dummy-Chip aus Silizium entworfen und hergestellt. Durch Zusammenschalten mehrerer solcher Mikroelektroden-Arrays ist es möglich, die Elektrodenanzahl und somit die Auflösung drastisch zu erhöhen. Eine Beschichtung der Elektroden mit mehrwandigen Kohlenstoffnanoröhren (MWCNT) über elektrophoretische Abscheidung (EPD) an Stelle einer gesputterten Iridiumoxid-Schicht wird zudem in dieser Arbeit diskutiert.