Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Mouselimis, Konstantinos; Gan, Yifei; Huhn, Andreas; Wilde, Jürgen (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik, Georges-Köhler-Allee 103-01-105, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag werden das Selbstassemblierungsverfahren und sein Prozessablauf dargestellt, die Herstellung der Kapazitätsstrukturen mit Hilfe eines Dünnschicht-Prozesses beschrieben und erste Anwendungsbeispiele an einer Versuchsanlage mit deren Einflussgrößen gezeigt.