Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level Technologie

Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland

Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Dunkel, J.; Brückner, A.; Reimann, A.; Wippermann, F.; Bräuer, A. (Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Deutschland)

Abstract:
Einen vielversprechenden Ansatz zur Realisierung von ultrakompakten Abbildungssystemen stellen Facettenaugenkameras dar. Eine Steigerung der Abbildungsleistung dieser Systeme in Verbindung mit einem hohen Füllfaktor lässt sich durch die Verwendung von refraktiven Freiformarrays anstelle sphärischer Mikrolinsenarrays erreichen. Damit derartige Abbildungssysteme zukünftig auch im Bereich der Konsumelektronik zur Anwendung kommen können, erfolgt die kosteneffiziente Fertigung dieser Kamerasysteme im Wafer Maßstab auf Basis eines UV-Replikationsprozesses. Die dafür benötigen Wafer Level Master sind aufgrund der asphärischen und asymmetrischen Oberflächengeometrie der refraktiven Freiformarrays nicht mehr über das Schmelzlinsenverfahren erzeugbar. Als neuer Ansatz zur Herstellung der Wafer Level Master für refraktive Freiformarrays wird daher ein Step&Repeat Verfahren vorgestellt.