Thermisch aktuierbare asphärische Mikrospiegel

Abstract:
Wir präsentieren einen thermisch aktuierbaren asphärischen Axiconspiegel zur Erzeugung von beugungsfreien Strahlen, sogenannten Besselstrahlen. Die Form des Spiegels wird durch den Volumenschrumpf beim Vernetzen eines weichen, elastischen Polymers, in einer dreidimensional strukturierten Mulde von 1 mm Durchmesser definiert. Die Aktuierung erfolgt durch die thermische Ausdehnung des Polymers, wodurch sich die Form von einem 1,44 µm tiefen konkaven Axicon bis hin zu einer flachen Spiegelfläche stufenlos einstellen lässt. Die Technologie lässt sich auch auf andere Strukturen wie Gitter und sphärische Mikrospiegel übertragen. In dieser Arbeit wurden thermisch stufenlos einstellbare Axiconspiegel mit optischer Oberflächenqualität (Ra < 10 nm) gefertigt und charakterisiert.