Sensorbasierte Mikrosysteme zur Überwachung von Fertigungs-prozessen

Abstract:
In diesem Beitrag werden Entwicklungsergebnisse von sensorbasierten Mikrosystemen für die Integration in Werkzeug- und Maschinenkomponenten zur hochgenauen und schnellen Kraftmessung für die Fertigungs- und Prozessüberwachung vorgestellt. Die Basis der entwickelten Mikrosysteme sind Dünnfilm-Sensoren, die entsprechend des jeweiligen Anwendungsfalles mit einer integrierten Primärelektronik zur Sensoransteuerung und Signalaufbereitung ausgestattet sind. An die Mikrosysteme schließen sich die Elektronik für die weitere Signalverarbeitung und die Verfahren zur Datenauswertung an. An Beispielen von drei Applikationen wird aufgezeigt, welche Möglichkeiten sich durch den Einsatz von sensorbasierten Mikrosystemen für die Echtzeiterfassung von auftretenden Kräften an relevanten Wirkstellenbereichen an Werkzeug- und Maschinenkomponenten ergeben.