Neue Märkte durch intelligente Inertialsensorsysteme
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schunke, Stefan (GEMAC – Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH, Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Zur Steigerung der Effizienz und zur Verringerung von Wartungskosten rückt das Thema Zustandsüberwachung, oder auch Condition Monitoring, immer näher in den Fokus von Anlagenbetreibern und Herstellern von Automationslösungen. Neben Detektoren für z. B. Druck spielen kapazitiv messende Inertialsensoren in MEMS-Technologie, speziell Beschleunigungssensoren, eine immer größere Rolle auf diesem Gebiet. Deren Eigenschaften bestimmen heute maßgeblich die Qualität von Maschinen und Anlagen. Dieser Beitrag stellt ein Konzept zur Realisierung hochpräziser, applikationsspezifischer Inertialsensorsysteme vor. Außerdem werden deren mögliche Anwendungsbereiche gezeigt.