Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik

Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland

Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin (IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)

Abstract:
Wir präsentieren einen resonanten zweiachsigen Mikrotastkopf, welcher elektrostatische Sensoren und Aktoren, einen Stylus mit Antastelement und eine Federführung in einem SOI-Substrat vereint. Bestandteile dieses Papers sind die Untersuchung des Kontaktverhaltens und der Nachweis, dass Sticking durch eine resonante Antastung sicher vermieden wird. Während der Messungen oszilliert der Taster in zwei Richtungen mit Frequenzen im unteren Kilohertzbereich und mit Schwingungsamplituden bis 5 µm.