Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin (Fraunhofer IKTS, Dresden, Deutschland)
Abstract:
Der Beitrag beschreibt die Herstellung 3D-strukturierter keramischer Mikrosysteme auf Basis der LTCC/HTCC-Mehrlagenkeramiktechnologie. Die mehrlagenkeramische Prozesskette, die involvierten Materialien, die spezifischen Möglichkeiten bzw. die Grenzen der Einsetzbarkeit dieser Technologie werden dargelegt und die Vor- und Nachteile gegenüber alternativen Herstellungstechnologien herausgearbeitet. Abschließend werden verschiedene mehrlagenkeramische Anwendungen der Sensorik aufgezeigt.