Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland

Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Heneka, J. (Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Deutschland )
Guttmann, M.; Mohr, J.; Saile, V. (Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Deutschland)
Hanemann, T. (Institut für Angewandte Materialien–Werkstoffprozesstechnik (IAM-WTP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Deutschland )
Plewa, K. (Institut für Angewandte Materialien–Werkstoffprozesstechnik (IAM-WTP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Deutschland)

Abstract:
Das LIGA2.X Verfahren ist ein vielversprechender Ansatz für die Replikation von hochpräzisen Mikrobauteilen aus thermoplastischem Kunststoff. Das Verfahren ermöglicht erstmals die industriereife Fertigung von nachbearbeitungsfreien dreidimensionalen Kunststoffmikrobauteilen. Die Vorteile des Verfahrens zur bestehenden LIGA-Technik sind der Verzicht auf jegliche Nacharbeit der replizierten Bauteile, eine Verringerung der Kosten/Teil, die Anwendung neuer Entformungskonzepte für die stabile Produktion mittels Mikrospritzgießen, optimale Spritzparameter der unterschiedlichen Mikrokavitäten und Teilevolumen unter 0,5 Kubikmillimetern. In der vorliegenden Arbeit wird der vollständige Prozessablauf des LIGA2.X Verfahrens präsentiert.