Mikrofluidische Partikelmanipulation mit elektrischen Feldkräften
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Ruffert, Christine; Müller, Stefan; Rissing, Lutz (Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT), Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Zur Untersuchung der Manipulation dielektrischer kugelförmiger Partikel (Durchmesser 26 µm) mit elektrischen Feldkräften (DC bzw. AC) werden mikrofluidische Chips aus Polydimethylsiloxan (PDMS) verwendet, die in einem Abformprozess unter Einsatz einer fotolithografisch aus SU-8(TM) hergestellten Masterform gefertigt sind. Die Gesamtsysteme bestehen aus dem PDMS-Chip mit fluidischen Kanalstrukturen, die von einem Glasobjektträger gedeckelt sind. Auf dem Glasobjektträger befinden sich dünnfilmtechnisch strukturierte Elektroden (50 nm Cr/200 nm Au), die mit einem elektrischen Potenzial beaufschlagt werden. Die angelegte Spannung USS beträgt ± 10 V.