Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische Lichtstreuung
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Döring, Christoph; Hein, Eric; Saiad, Mohamed Oulad; Fouckhardt, Henning (Fachbereich Physik, Integrierte Optoelektronik und Mikrooptik, Technische Universität Kaiserslautern, Postfach 3049, 67653 Kaiserslautern, Deutschland)
Abstract:
Durch reaktives Ionenätzen können Glasoberflächen definiert aufgeraut werden. Durch Variation der Ätzparameter können vielfältige, sehr verschiedene Oberflächenmorphologien erzielt werden. Jede dieser Rauigkeitsmorphologien zeigt ein spezifisches optisches Streuverhalten. Die Oberflächenstrukturen können durch einen zweistufigen Nanoabguss in ein Polymer übertragen werden. Dabei wird eine sehr hohe Formtreue erreicht. Die Glasoberflächen und ihre Elastomer-Kopien zeigen nahezu identisches Streuverhalten.