Gitterstrukturen mit hohem Aspektverhältnis für eine neuartige auf Phasen- und Dunkelfeldkontrast beruhende Röntgenbildgebung

Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland

Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Meiser, Jan; Kunka, Danays; Meyer, Pascal; Koch, Frieder; Amberger, Maximilian; Mohr, Jürgen (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Deutschland)
Schulz, Joachim; Walter, Marco (microworks GmbH, Karlsruhe, Deutschland)

Abstract:
Röntgen-Computer-Tomographie ist heutzutage eine etablierte Methode der medizinischen Diagnostik und in der Materialanalyse zur zerstörungsfreien Prüfung von Bauteilen. Sie beruht heute fast ausschließlich auf dem klassischen Absorptionskontrast von Materialien. Ein neuartiger Ansatz erweitert die Röntgenbildgebung um Phasen- und Dunkelfeldkontrastbild, die es erlauben, Strukturen geringer Dichteunterschiede wie z.B. Weichgewebe darzustellen. Am Institut für Mikrostrukturtechnik werden die Röntgengitter, Kernelemente dieser Technik, mit hohem Aspektverhältnis (>80) mittels LIGA-Verfahrens hergestellt. Im Vortrag wird der Prozess zur Herstellung der Gitter dargestellt, Vor- und Nachteile unterschiedlicher Gitterlayouts werden sowohl theoretisch als auch experimentell analysiert, die Ergebnisse zur Gittervergrößerung im Hinblick auf die sich in der medizinischen Diagnostik und in der zerstörungsfreien Prüfung ergebenden Vorteile werden beschrieben.