Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Gong, Lin; Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg (TU Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, 21073 Hamburg, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird die Herstellung von im Querschnitt runden photonischen Silicon-on-Insulator (SOI) Wellenleitern zur polarisationsunabhängigen Lichtführung gezeigt. Die Wellenleiter werden mit Kontaktlithographie strukturiert und in einem thermischen Oxidationsprozess geschrumpft, geglättet und gerundet. Des Weiteren wird das Konzept und die Herstellung von integrierten Polarisationsdrehern für photonische Wellenleiter vorgestellt. Die Wellenleiter verlaufen auf der Kante unterätzter SiO2-Membransäume, über die mechanische Spannungen in die Wellenleiter induziert werden können.