Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Abstract:
Es wurde ein elektromagnetischer Mikroaktor entwickelt, um eine Flüssigkeitslinse zu erzeugen und zu steuern. Die Magnetkraft wird durch die Coulomb-Kraft aus einem integrierten kapazitiven Element überstützt. Der von einer Mikrospule erzeugte magnetische Fluss zieht einen ringförmigen Rückschluss an und verformt so eine Polyimid-Membran. Die Auslenkung verdrängt eine optische Flüssigkeit und erzeugt eine flüssige Linse im Inneren des Rückschlussringes. Der Rückschluss dient gleichzeitig als Elektrode für das elektrostatische Element, das auch zur Messung des Luftspaltes eingesetzt werden soll. Die magnetische Flussführung im Bereich der Mikrospule wird aus einer NiFe-Folie hergestellt, die deutlich bessere weichmagnetische Eigenschaften aufweist als galvanisch abgeschiedene Schichten. Für die dünnfilmtechnische Herstellung der Aktorkomponenten wurde eine Prozessfolge entwickelt.