Thermisch robuste und hysteresearme Tunnelmagnetowiderstands-Sensoren für Längen- und Winkelmessungen
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Lehndorff, R.; Paul, J. (Sensitec GmbH, Hechtsheimerstr. 2, 55131 Mainz, Deutschland)
Casper, F. (Johannes Gutenberg-Universität Mainz, Institut für anorganische und analytische Chemie, Staudinger Weg 9, 55128 Mainz, Deutschland)
Abstract:
Wir zeigen hier Messergebnisse von TMR-Sensoren, die zur Längen- und Winkelmessung eingesetzt werden können. Durch einen neuartigen Ansatz zur Linearisierung des Ausgangssignals mit Hilfe von sogenannten magnetischen Vortex-Strukturen können extrem kleine Hysteresen erzielt werden. Die Empfindlichkeit (Signalveränderung pro Magnetfeldintervall) lässt sich dabei noch in einem großen Bereich anwendungsspezifisch einstellen. In Stresstests unter Temperaturen bis 180 °C und starken Magnetfeldern haben sich diese TMR-Sensoren als magnetisch sehr stabil erwiesen.