CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Vogt, H. (Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und System IMS, 47057 Duisburg, Deutschland)
Meißner, F.; Endler, I. (Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, 01277 Dresden, Deutschland)
Abstract:
Die Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) auf einem CMOS kompatiblen Multi-Elektroden-Array (MEA) wird vorgestellt. Im Rahmen des Projektes InMEAs (Integrierte nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays) werden CNTs direkt auf einem hochtemperaturstabilen Basis-MEA abgeschieden. Dazu hat das Fraunhofer IMS eine 0.8 µm Bulk-Substrat CMOS-Technologie mit einer Wolfram-Metallisierung entwickelt, bei der die Schwellenspannung nach einem Temperschritt von 700 °C / 30 min vergleichsweise geringfügig verschoben ist. Durch Verwendung des Mischkatalysators PtFe konnte das Fraunhofer IKTS die Prozesstemperatur für die CNT-Abscheidung auf 620 °C reduzieren.