Wasser-lösliche Opferschicht ermöglicht die low-cost Herstellung von Mikrospulen mit einem Füllgrad von 100 %
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gruschke, O. G.; Kamberger, R.; Ho¨fflin, J. (Institut für Mikrosystemtechnik – IMTEK, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Korvink, J. G. (Freiburg Institute for Advanced Studies – FRIAS, Universität Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Ein innovativer kostengünstiger Herstellungsprozess von solenoiden Mikrospulen für die Magnetresonanz (MR) wird demonstriert. Die zuvor publizierten Mikrospulen [1] benötigen einen Pfosten, um die mit einem automatischen Wirebonder gewickelten Spulendrähte zu stabilisieren, was zu einer Minderung des Probevolumen und somit zu einem geringeren Signal-zu-Rausch-Verhältnis (SNR) führt. Die Funktion des neuen Sensors wurde anhand einer MR Aufnahme einer ionisierten Wasserprobe (1 g/l CuSO4) in einem 11.7 T Spektrometer demonstriert, wobei ein Signal-Rausch-Verhältnis von 17 bei einer Auflösung in der Bildgebungsebene von 15 x 15 µm2 in 05:07 min erzielt wurde.