Integration von aufgerollten Nanomembranen mittels MEMS- und Laser-basierten Herstellungsverfahren
Conference: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10/14/2013 - 10/16/2013 at Aachen, Deutschland
Proceedings: Mikrosystemtechnik 2013
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Helke, C.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Gessner, T. (TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, Chemnitz, Deutschland)
Morschhauser, A.; Otto, T. (Fraunhofer ENAS, Chemnitz, Deutschland)
Harazim, S. M.; Schmidt, O. G. (IFW Dresden, Dresden, Deutschland)
Abstract:
Lab-on-a-Chip (LoC) Systeme bieten gegenüber herkömmlichen labortechnischen Analyseverfahren den Vorteil, komplexe Nachweisreaktionen auf engstem Raum und direkt am Patienten durchführen zu können, da sie alle notwendigen Schritte von der Probenvorbereitung bis hin zur Auswertung beinhalten. In der Vergangenheit wurden neuartige aufgerollte Sensorelemente auf Basis der „rolled-up Nanotech“ Methode entwickelt, die aus zwei unterschiedlich verspannten Nanomembranen realisiert werden und beispielsweise als optische Sensorelemente Einsatz finden. Die in dieser Arbeit beschriebene „trockene“ Integration dieser aufgerollten optischen Sensorelemente stellt für den angestrebten sensorischen Applikationseinsatz in Lab-on-a-Chip Systemen einen notwendigen Teilaspekt dar.