Miniaturisiertes photoakustisches CO2-Gasmesssystem für die Raumluftüberwachung

Conference: Sensoren und Messsysteme 2014 - Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung
06/03/2014 - 06/04/2014 at Nürnberg, Deutschland

Proceedings: ITG-Fb. 250: Sensoren und Messsysteme 2014

Pages: 5Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Huber, Jochen; Rademacher, Sven; Wöllenstein, Jürgen (Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik (IPM), Heidenhofstr. 8, 79110 Freiburg, Deutschland)
Huber, Jochen; Eberhardt, André; Wöllenstein, Jürgen (IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik, Technische Fakultät der Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)

Abstract:
Der photoakustische Effekt kann zur Detektion von IR-aktiven Gasen genutzt werden. Es wird ein einfaches und kompaktes 2-Kammer-Gasmesssystem vorgestellt, welches für die Detektion von CO2 in der Raumluftqualitätsmessung geeignet ist. Das System arbeitet mit einem thermischen Breitband-Emitter als Infrarotquelle und einer Mess- sowie einer Referenzkammer mit einem integrierten MEMS-Mikrofon als Detektor. Durch die Referenzkammer wird das Zielgas selektiv detektiert. Das Messprinzip sowie der Sensoraufbau werden vorgestellt. Labormessungen zeigen die Eignung als selektives und kostengünstiges Messsystem. Die Auflösungsgrenze des Systems liegt bei 100 ppm CO2. Das Potential zur weiteren Miniaturisierung des Messsystems wird aufgezeigt.