Herausforderungen und Grenzen der Nanopositionier- und Nanomesstechnik

Abstract:
Nach der Darstellung des Standes der Technik werden Fehlereinflüsse behandelt, welche die Leistungsfähigkeit der Nanomess- und Nanopositioniertechnik begrenzen. Dabei spielt das Abbe-Komparatorprinzip eine fundamentale Rolle. Es wird untersucht, nach welchem Aufbauprinzip für Koordinatenmessgeräte die kleinstmögliche Messunsicherheit bei der Entwicklung von Nanomessmaschinen erreicht werden kann. Die optimale Realisierung des Abbe-Prinzips in allen drei Messachsen kann nur mit Planspiegelinterferometern erzielt werden. Die Vor- und Nachteile verschiedener Interferometertypen sind auch Gegenstand des Vortrages. Eine metrologische Analyse zeigt die Möglichkeiten und Grenzen der Laserinterferometrie auf. Wirkungsweise und Aufbau von Nanomessmaschinen werden erläutert. Messergebnisse und deren Messunsicherheit verdeutlichen die Leistungsfähigkeit von Nanomessmaschinen.