Nanotechnologie basiertes Mikrosystem zum insitu-Fluidmonitoring
Conference: Sensoren und Messsysteme 2014 - Beiträge der 17. ITG/GMA-Fachtagung
06/03/2014 - 06/04/2014 at Nürnberg, Deutschland
Proceedings: Sensoren und Messsysteme 2014
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Mannebach, Horst; Bley, Torsten; Steffensky, Jörg (HYDAC Electronic GMBH, Saarbrücken, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag stellt die übergreifende Zielsetzung, Einzelergebnisse und Anwendungsgebiete des im Rahmen des BMBF-Programms „Mikro-Nano-Integration als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Sensoren und Aktoren (MNI-mst)“ durchgeführten Verbundvorhabens NaMiFlu (Nanotechnologie basiertes Mikrosystem zum insitu-Fluidmonitoring) vor. Ziel des Projektes war die Realisierung eines Online-Sensors zur Bestimmung des Zustandes von Hydraulik- und Schmierflüssigkeiten auf der Basis von IR-Transmissionsmessungen. Zur Realisierung der robusten und hochdruckfesten Komponenten des Messsystems wurden neuartige nano- und mikrotechnische Strukturen zur Aufbau- und Verbindungstechnik der Messküvette und zur Verbesserung der IR-optischen Eigenschaften von Messküvette und Emitter untersucht.