Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich
Conference: Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
10/08/2014 - 10/09/2014 at Ilmenau, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Markweg, Eric; Mollenhauer, Olaf (TETRA Gesellschaft für Automation und Sensorik mbH, Ilmenau, Deutschland)
Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ortlepp, Hans Georg (CiS Institut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt, Deutschland)
Hoffmann, Martin (TU Ilmenau, Institut für Mikro und Nanotechnologie MakroNano®, Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren ein integriert optisch Interferometer dessen Auflösungsbereich unter einem Nanometer liegt. Die Einzelkomponenten des Interferometers wurden mit mikrosystemtechnischen Technologien hergestellt und erlauben somit eine kostengünstige Massenproduktion. Die Bauform des Interferometers eignet sich zur Integration in kompakte Präzisionsantriebe. Somit eröffnet sein ein Anwendungsfeld im Bereich der Handling-, Montage-, Mess-, sowie Aufbau und Verbindungstechnik.