Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen
Conference: Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
10/08/2014 - 10/09/2014 at Ilmenau, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Leopold, S.; Hoffmann, M. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Gustav-Kirchhoff Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Pätz, D.; Sinzinger, S. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien IMN MacroNano®, Fachgebiet Technische Optik, Gustav-Kirchhoff Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Müller, J. (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien IMN MacroNano®, Fachgebiet Elektroniktechnologie, Gustav-Kirchhoff Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Nanokristallines Aluminiumnitrid (AlN) zeichnet sich unter anderem durch seine mechanische Stabilität und Transparenz im visuellen Spektrum aus. Dies macht einen Einsatz des Materials für Membranlinsen möglich. Das hier vorgestellte Design ermöglicht eine zylindrische Auslenkung der Membran in einem optisch nutzbaren Bereich von 3x3 mm2. Zum kompakten Aufbau von zwei gekreuzten verstimmbaren Zylinderlinsen wird eine hybride Integration von Silicium und LTCC („low temperature co-fired ceramics“) Technologie angewendet. Während der Formung eines Laserstrahls macht die individuelle Ansteuerung der Linsen kreisrunde und elliptische Strahlprofile beliebiger Größe möglich.