Strukturierung von Elektronen-Feldemitter auf Basis metallischer Nanodrähte
Conference: Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
10/08/2014 - 10/09/2014 at Ilmenau, Deutschland
Proceedings: Mikro-Nano-Integration
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Roustaie, Farough; Quednau, Sebastian; Dassinger, Florian; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Deutschland)
Wilfert, Stefan; Lotz, Marcel (GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung, Darmstadt, Common Systems-Vacuum Systems, Deutschland)
Lotz, Marcel (Goethe Universität Frankfurt (Main), IAP, Deutschland)
Abstract:
Nanostrukturierte Feldemissionsplattforme sind interessant für eine Vielzahl von Anwendungen, z.B. der Druckmessung in kryogenen Vakuumsystemen. Die häufig als Feldemitter verwendeten Carbon-Nano-Tubes (CNTs) sind jedoch durch die Homogenität, die Stabilität und die schwierige Einstellbarkeit des Emissionsstroms in ihrer Anwendung begrenzt [1]. In dieser Arbeit wird die Auslegung und der Herstellungsprozess eines auf Gold-Nanodrähten basierenden Feldemitters vorgestellt. Dieser Prozess bietet eine hohe Flexibilität bei der Variation unterschiedlicher Parameter. Feldemitter, die mit diesem Prozess hergestellt werden, benötigen eine geringere Extraktionsspannung als herkömmliche Feldemitter auf CNT-Basis.