Integration eines neuartigen kohlenstoffbasierten Materials – Carbon NanoPillars – in Dehnungsmessstreifen

Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik 2015

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Riekeberg, S.; Quiring, G.; Müller, J.; Trieu, H. K. (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorfer Str. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag wird eine uns bisher unbekannte Formierung des Kohlenstoffs – Carbon Nanopillars (CNPs) – vorgestellt. Diese werden auf ihre Eignung als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen (DMS) untersucht. Das Wachstum der CNPs findet dabei vertikal ausgerichtet auf dem Trägersubstrat statt. Durch eine Strukturierung des CNP-Teppichs und Kontaktierung dieser mit links und rechts angrenzenden Leiterbahnen erfolgt der Ladungstransport entlang des CNPTeppichs, orthogonal zur CNP-Wachstumsrichtung. Der CNP-Teppich zeigt eine lineare IU-Charakteristik, sowie eine lineare Widerstandsanhängigkeit in einem Temperaturbereich von 20 °C bis 90 °C. Durch eine Optimierung der CNPProzessleistung weisen diese DMS hohe k-Faktoren von bis zu 15,5 auf.