Ultra-kompakte adaptive Hochgeschwindigkeitslinsen mit großer Apertur und asphärischer Korrektur

Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland

Proceedings: MikroSystemTechnik 2015

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Wapler, Matthias C.; Weirich, Christopher; Stürmer, Moritz; Wallrabe, Ulrike (Lehrstuhl für Mikroaktorik, Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)

Abstract:
Wir präsentieren besonders kompakte piezo-aktuierte adaptive Linsen: Eine Fluidlinse mit 12 mm Apertur bei nur 18 mm Außendurchmesser und 2 mm Dicke sowie kurzer Ansprechzeit von ca. 2 ms sowie eine Festkörperlinse mit 6,25 mm Apertur und 7,9 mm Außendurchmesser mit sub-ms Ansprechzeit. Im Gegensatz zu den meisten bisherigen Linsen wird hier direkt eine dünne Glasmembrane verformt, die die Linsenoberfläche bildet. Dies ermöglicht schnellere, kompaktere Optiken mit großer Apertur. Ihre zwei Freiheitsgrade ermöglichen zudem neben der reinen Fokussierung auch eine asphärische Korrektur. Eine realisierte Anwendung der Fluidlinse besteht in einem Magnetresonanz-kompatiblen Mikroskop mit sub-µm Auflösung, wo eine kompakte, nicht-magnetische und weitestgehend nicht-metallische Fokussierung mit großer Apertur und geringen optischen Fehlern erforderlich ist.