Optische Schnittstelle für photonische Wirebonds in photonischer BiCMOS-Technologie
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Mai, C.; Lischke, S.; Kroh, M.; Mai, A.; Zimmermann, L. (IHP, Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder), Deutschland)
Hoose, T.; Lindenmann, N.; Koos, C. (Institut für Mikrostrukturtechnik, KIT, Kaiserstr. 12, 76131 Karlsruhe, Deutschland)
Abstract:
Es wird ein Prozess zur Freilegung inverser Taper präsentiert, der die Nutzung photonischer Wirebonds (PWB) in PIC- (photonic integrated circuit) und ePIC- (electronic photonic integrated circuit) Umgebungen ermöglicht. Ein effektiver Verlust von zwei freigelegten Tapern (Höhe = 220 nm, Breite = 185 nm, Länge = 80 µm) und dem verbindenden PWB konnte auf 3 dB bestimmt werden.